一、概述

    DFC系列气体质量流量控制器/流量计(以下称DFC/DFM)通过测量层流元件的差压、压力、温度来计算流量，这种测量方式具有固有的线性,重复性好，高精度，无需预热，温漂小等特点。本产品可以同时测量4种参数：气体的瞬时流量、累计流量、温度和绝压，并且可以同时显示和输出。
    虽然传统的热式原理不需经过温压补偿即可以直接测量气体的质量流量，但是热式原理产品具有先天性的缺陷：长期加热的工作模式产生的热漂移，反应速度慢等缺点是不可避免的，而采用差压原理的DFC/DFM几乎无零点和温度漂移，反应速度快，无需预热，上电即可操作，解决了长期困扰客户的问题。
    本产品广泛应用于各类需精确检测和控制气体流量的设备上。本资料中的DFC系列是根据市场需求推出的以高精度和多功能为特色的普及型产品。

显示界面

流量计算机

二、原理及性能

    原理:
      ●传感器: 温度、压力、差压三支传感器
      ●响应时间: DFM:10毫秒;  DFC:100毫秒
      ●显示屏: 标准  内置
      ●预热: 无需预热
      ●热漂移: 无
      ●累计流量: 标准内置 不限显示位数
      ●输出信号: 质量流量、体积流量、温度、压力
      ●转换系数: 测量空气氮气以外的气体时，转换系数准确
      ●气体测量: 可从内置菜单中选择30种气体
      ●精度: ±0.8%F.S读数，±0.4%F.S可选
      ●长期稳定性: ±0.1%F.S/年